型式規格
GPR-1200
GPR-1400
GPR-1800
機台型式
標準機型
標準機型
標準機型
基板尺寸
550mm x 650mm
730mm x 920mm
730mm x 920mm
上載盤直徑
Ø1000mm 的載盤
Ø1220mm 的載盤
Ø1350mm 的載盤
下研磨盤直徑
Ø1200mm 研磨盤
Ø1400mm 研磨盤
Ø1800mm 研磨盤
加壓壓力
500Kg
600Kg
800Kg
研磨盤速度
5~60 rpm
5~60 rpm
5~60 rpm
拋光馬力
30HP
30HP
40HP
電源
3Φ4W AC380V 50/60Hz
3Φ4W AC380V 50/60Hz
3Φ4W AC380V 50/60Hz
設備尺寸
L3000*W2800*
H2500(mm)
H2500(mm)
L3000*W2800*
H2500(mm)
H2500(mm)
L3650*W3300*
H2800(mm)
H2800(mm)
重量
6500Kg
7500Kg
11000Kg
總耗電量
55KVA
55KVA
80KVA
耗風量
150 L/ cycle
150 L/ cycle
250 L/ cycle
產品規格 /
.採用進口廠牌 reducer,輸出扭力大、背隙小,並使用錐形齒輪傳動,輸出效率更佳。.使用變頻專用馬達,可固定轉矩,穩定性較一般馬達更好。
.上定盤軸承採用進口廠牌自動對心軸承,壽命長、穩定度佳,提高研磨均勻度。
.轉動結構採用多段密封,不易進水。
.搖擺軸承採用進口廠牌,精密度較高且耐用性佳,僅需做定期補給油酯,即能使內部保持潤滑,充
分減少磨耗損傷狀況。
產品功能 /
.去除玻璃刮傷.玻璃減薄
.光罩拋光
產品專利 /
.拋光機上下定盤之結構 .拋光機之載盤自動導正結構
產品優點 /
.上下定盤平坦度公差為±0.01mm。使研磨前後平整性佳,技術領先業界設備。.上下定盤使用特殊鋼材製作而成,抗壓能力及抗拉強度特高,充分減少使用後變形的情況。
.設備皆自行研發,故可達客製化效果。
.人機操作介面便於人員操控設定,可依客戶需求增加設定功能。
.自動控管循環系統,使研磨液反覆回流攪拌桶,降低Slurry使用成本。
.壓力自動補償。
.因有拋光機上述專利,可有效控制微灰點的產生。
.壓力控制採用電空比例閥及迴路控制,可確保拋光壓力的穩定度。